发布时间： 2021-11-29 10:18:30来源：深圳市光学光电子行业协会
近日，“广东省真空科技进步奖”拟奖项目公示，博顿光电申报的“全国产化离子束微纳加工装备的研制及其应用开发”项目荣获二等奖！
广东省真空科技进步奖是由广东省真空学会设立的面向全省真空行业的科技奖项，表彰为推动真空行业科技进步、提高经济效益和社会效益而在科技工作中做出创造性贡献的单位或个人。
离子源及离子束装备是典型的“卡脖子”技术与产品，广泛应用于精密光学、LED、半导体与集成电路、航空航天、国防军工、光伏新能源等多个领域，是纳米薄膜沉积、 微纳微纳、超高精度表面处理等工艺制程必备的关键装置和基础设备，但由于以离子源为代表的高端核心部件长期受限于国外，导致在高端装备和工艺应用方面受制于人。此次获奖，是博顿光电坚持自主研发、技术创新的成果体现，充分显示出博顿光电在国内离子束设备领域的创造性和强大的竞争力，同时也是广东省真空行业对博顿光电实力的肯定！
接下来，我们将以此次获奖为契机，坚定不移地实施创新驱动战略，围绕离子束设备不断推出具有自主知识产权的创新产品，为有效解决国内在高端离子源及离子束设备领域“用不上”和“用不起” 的行业困局贡献博顿力量，从上游核心部件解决精密光电行业的“卡脖子”问题！
“全国产化离子束微纳加工装备的研制及其应用开发”项目
是由中山市博顿光电科技有限公司、佛山市博顿光电科技有限公司两家公司共同申报完成。针对消费电子、精密加工、泛半导体、5G 光通信、生物医疗及国防军工等众多产业应用领域，开发具有自主知识产权的离子束加工整机装备，包括全国产化高能离子源系统产品、整机装备的软件系统、高精度监控系统等，实现微纳加工装备的软件、硬件、工艺等的一体化融合及工艺参数的智能化配置，形成基于全国产化高能离子源的自主知识产权的高能离子束微纳加工整机装备，并实现光学薄膜器件、刻蚀器件、微纳结构表面抛光等工艺应用与产业化。
项目在技术和工艺方面都实现了创新突破
技术创新方面：
1.非热阴极型高能高效离子源中和器技术；
2.能量与束流可调可控的高能离子源；
3.统一系统架构与功能，开发具有一体化工艺加工功能的全国产化的离子束微纳加工装备；
4.实时在线工艺监控系统；
5.基于离子束加工的新型纳米光学元器件工艺技术。
工艺创新方面：
采用纳米光学器件工艺——离子束整机装备——全国产化核心部件进行耦合和全闭环的技术路线。
行业带动作用
全国产化离子束微纳加工装备的研制及其应用开发”项目实现了全国产化、全自主知识产权的高端离子源和离子束整机装备的开发，核心技术打破国外技术垄断，在行业中起到积极的带动作用：填补国内中高端离子源产品空白、完善国内纳米光学与微纳制造产业链、带动和促进国内战略性重点产业上下游共同发展、促进产业升级和培养核心专业技术人才。本项目的开发，可有力支撑我国精密光学、光通信、LED、半导体等战略性产业的创新和发展升级，带动相关产业和行业的能力与价值提升。
