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技术新突破!深圳技术大学实现千瓦级超快薄片激光器

发布时间: 2024-03-25 10:04:45来源:深圳技术大学

薄片激光器以其极佳的光束质量和高效的光-光转换效率在工业制造业和基础科学研究等领域得到了日益广泛的应用。尤其是薄片超快激光技术证明是实现大脉冲能量、超短脉宽、高平均功率的最佳方案,也被誉为激光工业”皇冠上的明珠”,对于高端制造业、极紫外光产生、阿秒科学等具有重要意义。

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长期以来,德国通快公司独家引领薄片激光器的研究及产品化,取得了巨大的商业成功。近4年来,深圳技术大学阮双琛教授牵头的国家重点研发计划“新型显示与战略性电子材料”重点专项支持下,项目团队联合联合中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所、江苏师范大学、大族激光、中国科学院半导体研究所、江苏第三代半导体研究院等单位进行技术攻关,攻克了薄片晶体精密加工、晶体热沉系统设计和封装、48冲程泵浦系统、高稳定再生放大谐振腔和多通道放大等关键核心技术,在国内率先实现了直径>20mm Yb:YAG薄片晶体封装,研制了千瓦级48冲程泵浦系统,课题组在2024年2月,实现了国内千瓦级超快薄片激光器的重大突破:脉冲输出最大平均功率1.075kW,脉冲宽度7ps,重复频率500-800kHz可调,最大脉冲能量2.1mJ,光束质量M2<1.5,光斑椭圆度0.96, 为我国阿秒光源、极紫外光刻、新能源汽车、3C电子与芯片加工、航空航天等高端制造业,提供先进激光光源。


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