发布时间： 2024-01-15 09:44:39来源：英唐极光微
2023年12月，深圳市英唐极光微技术有限公司（下称“英唐极光微”）正式发布了新一代的8毫米MEMS微振镜产品。这款大尺寸振镜产品将成为英唐极光微迈入车载激光雷达市场的关键一步。
2020年底，上市公司英唐智控收购了日本先锋集团旗下的半导体公司，该公司早在2011年就开始开发用于HUD和Pico投影仪的MEMS微振镜，后续开始开发用于汽车激光雷达的MEMS微振镜，并在2020年实现了量产应用。去年，英唐智控募集专项资金，设立全新子公司英唐极光微，专注研发MEMS微振镜产品，并瞄准车载激光雷达市场开始发力。
MEMS微振镜的镜面尺寸与雷达测距能力攸关。以同轴结构的激光雷达而言，MEMS微振镜的尺寸越大，出光及收光量就越大，可实现更远的扫描距离，大幅提升雷达的测距能力。同时，MEMS微振镜的可芯片化、无机械组件及其毫米级尺寸等特性大大减小了产品体积，减少了激光收发单元的数量，从而实现激光雷达的结构成本优化。从器件整体角度来看，为激光雷达带来降本增效的双重效应。
此次英唐极光微推出新一代产品，相较已发布的1毫米、4毫米规格而言，具备更大的镜面尺寸，适用于长距车载激光雷达, 拥有诸多优势：
驱动电压小，FOV宽广 新款振镜采用电磁驱动，相较于静电驱动、压电驱动等驱动方式而言，电磁驱动所需的电压仅3V，可靠性高，并且能实现更宽广的FOV(30°x25°)。 H/V二维扫描，双轴低串扰 采用双轴独立驱动的模式，可进行二维扫描。其中H轴属于谐振式驱动，V轴属于线性驱动(光栅扫描)；两轴驱动信号之间低串扰。 高效率&低功耗并存 H轴谐振频率达800Hz，V轴驱动频率为1~100Hz(10Hz)；镜面镀金，反射率达到97%， 可实现更高水平的成像精度和分辨率。同时，该产品功耗低至136mW，扫描更为高效。 体积小重量轻，助力激光雷达小型化 新产品的封装尺寸压缩至24.8*23.14*7.58（mm），重量仅11g。在摆脱传统体积较大的机械运动装置的同时，减少了激光器和探测器数量，整体上使激光雷达体积和成本更可控。 类车规级别可靠性 尽管MEMS微振镜拥有诸多优点，业内对其可靠性仍有疑虑。一方面，车规温度要求高; 另一方面，镜面直径需求越来越大，悬臂梁结构难以支撑。英唐极光微对单一MEMS微振镜进行类车规级别内部可靠性验证，佐以10-2000Hz，3.11GRMS，20hrs, 6axis规格的振动验证。测试结果显示，新一代MEMS微振镜在该级别要求的温度、湿度、振动、冲击等测试中均表现良好，满足激光雷达在车载工作环境中的可靠性要求。 结合国内激光雷达客户的需求，在英唐智控数十年技术沉淀的基础上，英唐极光微推出新一代大尺寸MEMS微振镜产品。新产品兼具MEMS微振镜在传统认知上体积小、成本低等优点，还在可靠性、量程等方面实现了优化和突破，为行业带来更先进的解决方案。
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